Infrarotheizung ist die beste Wahl für die Halbleiterverarbeitung, da IR über schnelle Heiz- und Kühlfähigkeiten verfügt, was bedeutet, dass ein Überhitzen vermieden und erhebliche Energieeinsparungen erzielt werden. Es ist kein Kontakt erforderlich Infrarot kann im Vakuum, in einem Gasstrom oder in der Luft betrieben werden.